a) Độ nhạy
S=ΔYΔXS=ΔYΔX size 12{S= { {ΔY} over {ΔX} } } {}
Với: +X: gia số đại lượng đầu vào.
+Y: gia số đại lượng đầu ra.
Trong thực tế còn sử dụng độ nhạy tương đối:
S0=S0= size 12{S rSub { size 8{0} } = { { {ΔY} wideslash {Y} } over { {ΔX} wideslash {X} } } } {}
Với: Y là đại lượng ra.
X là đại lượng vào.
Cảm biến có thể là tuyến tính nếu S0=const hoặc là phi tuyến nếu S0= var. Cảm biến phi tuyến có độ nhạy phụ thuộc vào giá trị đại lượng vào (X).
b) Sai số
Sự phụ thuộc của đại lượng ra Y vào đại lượng đầu vào X gọi là đặc tính vào ra của cảm biến. Sự sai khác giữa đặc tính vào ra thực với đặc tính chuẩn (đặc tính tính toán hay đặc tính cho trong lí lịch) được đánh giá bằng sai số.
Phân làm hai loại sai số
+ Sai số tuyệt đối
ΔX=X'−XΔX=X'−X size 12{ΔX=X' - X} {}
X': giá trị đo được; X: giá trị thực.
+ Sai số tương đối
a=ΔXXa=ΔXX size 12{a= { {ΔX} over {X} } } {}
Các nguyên nhân ảnh hưởng tới sai số
Có nhiều nguyên nhân khách quan và chủ quan ảnh hưởng tới sai số, trong thực tế người ta đưa ra các tiêu chuẩn và các điều kiện kĩ thuật để hạn chế mức độ ảnh hưởng này trong phạm vi cho phép.
Sai số ở giá trị định mức do yếu tố của bên ngoài gọi là sai số cơ bản. Nếu yếu tố của bên ngoài vượt ra khỏi giới hạn định mức thì xuất hiện sai số phụ. Để giảm sai số phụ phải giảm độ nhạy của cảm biến với yếu tố ngoài hoặc hạn chế ảnh hưởng của chúng bằng màn chắn hay môi trường khác.
c) Các yêu cầu của cảm biến
Muốn có độ nhạy cao, sai số nhỏ, cảm biến cần có các tính chất sau:
+ Có dải thay đổi đại lượng vào cần thiết.
+ Thích ứng và thuận tiện với sơ đồ đo lường, kiểm tra.
+ Ảnh hưởng ít nhất đến đại lượng đầu vào.
+ Có quán tính nhỏ.
Hiện nay có rất nhiều loại cảm biến, chúng làm việc theo nhiều nguyên lí khác nhau, do vậy kết cấu của cảm biến rất đa dạng và phong phú. Bảng 7-1 là nguyên lí làm việc và lãnh vực của cảm biến cảm ứng, là loại phổ biến trong tự động hóa và điều khiển tự động.
d) Phân loại cảm biến
Có thể phân các cảm biến làm hai nhóm chính: là cảm biến tham số (thụ động) và cảm biến phát (chủ động hay tích cực).
* Nhóm phát (làm việc như một máy phát hình 7-1) bao gồm các loại cảm biến sử dụng hiệu ứng cảm ứng điện từ, hiệu ứng điện áp, hiệu ứng Holl và sự xuất hiện sức điện động của cặp nhiệt ngẫu, tế bào quang điện.
+Hiệu ứng cảm ứng điện từ: trong một dây dẫn chuyển động trong một từ trường không đổi sẽ xuất hiện một sức điện động tỉ lệ với từ thông cắt ngang dây trong một đơn vị thời gian, nghĩa là tỉ lệ với tốc độ dịch chuyển của dây dẫn.
Hiệu ứng cảm ứng điện từ được ứng dụng để xác định tốc độ dịch chuyển của vật thông qua việc đo sức điện động cảm ứng.
+Hiệu ứng quang phát xạ điện tử: là hiện tượng các điện tử được giải phóng thoát ra khỏi vật liệu tạo thành dòng được thu lại dưới tác dụng của điện trường.
+Hiệu ứng quang điện trong chất bán dẫn: là hiện tượng khi một chuyển tiếp P-N được chiếu sáng sẽ phát sinh ra các cặp điện tử-lỗ trống, chúng chuyển động dưới tác dụng của điện trường chuyển tiếp làm thay đổi hiệu điện thế giữa hai đầu chuyển tiếp.
+Hiệu ứng Holl: trong vật liệu (thường là bán dẫn) dạng tấm mỏng có dòng điện chạy qua đặt trong từ trường B có phương tạo thành một góc với dòng điện I sẽ xuất hiện một hiệu điện thế U theo hướng vuông góc với B và I. Hiệu ứng Holl được ứng dụng để xác định vị trí của một vật chuyển động. Vật sẽ được ghép nối cơ học với một thanh nam châm, ở mọi thời điểm vị trí của thanh nam châm xác định giá trị của từ trường và góc lệch tương ứng với tấm bán dẫn mỏng làm trung gian. Hiệu điện thế đo được giữa hai cạnh tấm bán dẫn trong trường hợp này (gián tiếp) là hàm phụ thuộc vị trí của vật trong không gian.
Cảm biến loại này là cảm biến tích cực vì trong trường hợp này nguồn của dòng điện I (chứ không phải đại lượng cần đo) cung cấp năng lượng liên quan đến tín hiệu đo.
+Hiệu ứng điện áp: khi tác dụng lực cơ học lên một vật làm bằng vật liệu áp điện (như thạch anh) sẽ gây nên biến dạng của vật đó và làm xuất hiện lượng điện tích bằng nhau nhưng trái dấu nhau trên các mặt đối diện của vật (là hiệu ứng điện áp). Hiệu ứng này được ứng dụng để xác định lực hoặc các đại lượng gây nên lực tác dụng vào vật liệu áp điện (như áp suất, gia tốc,...) thông qua việc đo điện áp trên hai bản cực tụ điện.
Ngoài ra còn cảm biến nhiệt điện, cảm biến hóa điện,...
*Cảm biến tham số (thụ động): thường được chế tạo từ những trở kháng có một trong các thông số chủ yếu nhạy với đại lượng cần đo. Một mặt giá trị của trở kháng phụ thuộc vào kích thước hình học của mẫu, nhưng mặt khác nó còn phụ thuộc vào tính chất điện của vật liệu như: điện trở suất, từ thẩm, hằng số điện môi. Vì vậy giá trị của trở kháng thay đổi dưới tác dụng của đại lượng đo ảnh hưởng riêng biệt đến tính chất hình học, tính chất điện hoặc đồng thời ảnh hưởng cả hai. Thông số hình học hoặc kích thước của trở kháng có thể thay đổi nếu cảm biến có phần tử chuyển động hoặc phần tử biến dạng.
+Trường hợp khi có phần tử động thì mỗi vị trí của phần tử sẽ tương ứng với một giá trị trở kháng, đo trở kháng sẽ xác định được vị trí đối tượng. Đây là nguyên lí nhiều cảm biến như cảm biến vị trí, cảm biến dịch chuyển.
+Trường hợp cảm biến có phần tử biến dạng, thì sự biến dạng gây nên bởi lực hoặc các đại lượng dẫn đến lực (áp suất, gia tốc) tác dụng trực tiếp hoặc gián tiếp lên cảm biến làm thay đổi trở kháng. Sự thay đổi trở kháng liên quan đến lực tác động lên cấu trúc, nghĩa là tác động của đại lượng cần đo được biến đổi thành tín hiệu điện (hiệu ứng áp trở).
Trở kháng của cảm biến thụ động và sự thay đổi của trở kháng dưới tác dụng của đại lượng cần đo chỉ có thể xác định được khi cảm biến là một thành phần của mạch điện. Trong thực tế tùy từng trường hợp cụ thể mà người ta chọn mạch đo thích hợp với cảm biến. Hình minh họa dưới đây biểu diễn một mạch điện đo điện thế trên bề mặt màng nhạy quang được lắp ráp từ nhiều phần tử.
Bảng 1: Một số loại cảm biến thông dụng
Bảng 1
| Đại lượng đầu vào |
Phương pháp thay đổi từ dẫn |
| -Cảm biến chuyển dịch cơ học- Lực , hoặc áp suất.- Nhiệt độ.- Cường độ từ trường. |
-Thay đổi khe hở không khí-Dùng một trong hai phương pháp sau:+ Hiệu ứng đàn hồi từ (từ dẫn thay đổi dưới tác dụng của lực hoặc áp lực).+ Độ võng của màng dẻo và chuyển dịch của phần ứng liên kết với chúng thay đổi khe hở không khí.-Thay đổi độ từ thẩm
mm size 12{m} {} .-Thay đổi độ từ thẩm
mm size 12{m} {} (cuộn kháng bão hòa). |
Bảng 2
| Đại lượng cần đo |
Đặc trưng nhạy cảm |
Loại vật liệu sử dụng |
| Nhiệt độ |
(điện trở suất) |
Kim loại:Pt,Ni,CuBán dẫn |
| Bức xạ ánh sáng |
|
Bán dẫn |
| Biến dạng |
Từ thẩm () |
Hợp kim Ni,Si pha tạpHợp kim sắt từ |
| Vị trí (nam châm) |
|
Vật liệu từ trở Bi,InSb |
| Độ ẩm |
(hằng số điện môi) |
LiClAl2O3,Polime |
| Mức |
|
Chất lưu cách điện |
Ta chỉ khảo sát ở đây một số loại có nguyên lí làm việc gần với lãnh vực thiết bị điện, các cảm biến còn lại tham khảo các tài liệu khác.